| 번호 | 품명 | 모델 | 제조회사 | 가능여부 |
|---|---|---|---|---|
| 89521 | HAST CHAMBER(SP5) | EHS-221 | ESPEC | 가능(사내교정) |
| 89522 | HAST CHAMBER(SP5) | EHS-221H | ESPEC | 가능(사내교정) |
| 89523 | HAST CHAMBER(PCT) | EHS-221MD | ESPEC | 가능(사내교정) |
| 89524 | HAST CHAMBER(PCT) | EHS-221M | ESPEC | 가능(사내교정) |
| 89525 | HAST CHAMBER (PRESSURE) | NY-HS-601 | NANGYEAL | 가능(사내교정) |
| 89526 | HAST CHAMBER | PC-422R8 | HIRAYAMA | 가능(사내교정) |
| 89527 | HAST CHAMBER | EHS-221M | ESPEC | 가능(사내교정) |
| 89528 | HAST CHAMBER | HAST-X1000X-2 | UNIVERSAL | 가능(사내교정) |
| 89529 | HAST CHAMBER | PM420 | ETAC | 가능(사내교정) |
| 89530 | HAST CHAMBER | EHS-221 | ESPEC | 가능(사내교정) |
| 89531 | HAST CHAMBER | EHS-211MD | ESPEC | 가능(사내교정) |
| 89532 | HAST CHAMBER | SHS-221M | ESPCT | 가능(사내교정) |
| 89533 | HAST CHAMBER | EHS-221MD | ESPEC | 가능(사내교정) |
| 89534 | HAST CHAMBER | YM-HAST 400_2ZONE | Y.M.RTC | 가능(사내교정) |
| 89535 | HAST CHAMBER | EHS-222M | ESPEC | 가능(사내교정) |